M-3 手持式四探針電阻測試儀
上海雙旭M-3 手持式四探針電阻測試儀
產品概述
上海雙旭M-3為手持式四探針電阻測試儀,采用經典四探針法測量原理,可快速測定半導體材料、薄膜、金屬薄層等低阻及中阻樣品的電阻率或方塊電阻。體積小巧,便于現(xiàn)場攜帶與在線檢測,適用于研發(fā)、生產及質量控制場景。
產品參數(shù)
- 測量方法:四探針直線排列(Van der Pauw兼容)
- 測量范圍:電阻率 10⁻⁴ ~ 10³ Ω·cm;方塊電阻 10⁻³ ~ 10⁵ Ω/□
- 分辨率:0.01 mΩ·cm(電阻率);0.1 mΩ/□(方塊電阻)
- 精度:±1%讀數(shù) ±2字(標準條件下)
- 探針間距:固定 1.0 mm(可定制其他間距)
- 測試電流:0.1 μA ~ 100 mA,自動或手動調節(jié)
- 顯示方式:LCD數(shù)字顯示,帶背光
- 電源:內置可充電鋰電池,DC 3.7V,續(xù)航≥8小時
- 外形尺寸:約180×80×35 mm
- 重量:約300 g(含電池)
- 工作環(huán)境:溫度 0~40℃,濕度 ≤80% RH,無強磁場干擾
- 數(shù)據(jù)存儲:可存儲≥200組測試數(shù)據(jù),支持USB導出
功能特點
具備自動電流換向消除熱電勢誤差、自動溫度補償、一鍵測試及平均值計算功能。探針頭耐磨硬質合金材質,接觸穩(wěn)定,適合多次反復測量。支持多種樣品幾何形狀換算,適配晶圓、片材、涂層等不同形態(tài)。
使用注意事項
- 測量前確保探針與被測面垂直且均勻接觸,避免傾斜導致數(shù)據(jù)偏差。
- 樣品表面需平整、清潔、無氧化層和油污,必要時用溶劑擦拭并干燥。
- 避免在強電磁場或高頻干擾環(huán)境下使用,防止讀數(shù)跳動。
- 不可在潮濕環(huán)境或液體中操作,防止儀器進水損壞電路。
- 測試電流不得超過樣品承受極限,防止過熱損傷樣品或探針。
- 長時間不使用應關閉電源并存放在干燥處,定期充電維護電池。
- 探針磨損嚴重時應及時更換,保證接觸電阻一致性。
- 更換電池或維修須由專業(yè)人員操作,禁止私自拆解殼體。
- 高阻值樣品測量時,注意屏蔽環(huán)境漏電流影響,必要時使用屏蔽夾具。
- 使用前校準零點和參考樣,確保測量準確性。
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