HPS5530 多通道方阻測(cè)試儀
上海雙旭 HPS5530 多通道方阻測(cè)試儀
產(chǎn)品概述：HPS5530 是上海雙旭電子有限公司推出的多通道高精度方阻測(cè)試儀，主要用于半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜、金屬涂層及各類電阻膜層的方阻（Sheet Resistance）測(cè)量。設(shè)備采用多通道同步采集與獨(dú)立校準(zhǔn)技術(shù)，適用于生產(chǎn)線快速檢測(cè)與實(shí)驗(yàn)室精密分析，支持多種探頭配置和自動(dòng)掃描功能。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量原理：四探針?lè)ǎ╒an der Pauw 兼容）
- 測(cè)試通道數(shù)：4/8/16 通道可選（標(biāo)準(zhǔn)配置 8 通道）
- 方阻測(cè)量范圍：10⁻⁴ Ω/□ ~ 10⁶ Ω/□
- 測(cè)量精度：±0.5%（滿量程，標(biāo)準(zhǔn)條件下）
- 分辨率：0.1 mΩ/□（低阻段），1 Ω/□（高阻段）
- 電流源范圍：10 nA ~ 100 mA（可編程）
- 電壓測(cè)量范圍：±200 mV（24 bit ADC）
- 掃描速度：?jiǎn)吸c(diǎn) ≤ 50 ms，全通道 ≤ 500 ms（典型值）
- 探頭間距：標(biāo)準(zhǔn) 1 mm，可定制 0.5 / 2 mm
- 通訊接口：RS-232、USB、以太網(wǎng)（TCP/IP）
- 顯示與控制：7" 彩色觸摸屏 + PC 軟件（可選）
- 電源要求：AC 220 V ±10%，50/60 Hz，功耗 ≤ 80 W
- 工作環(huán)境：溫度 10~40℃，濕度 ≤ 80% RH（無(wú)結(jié)露）
- 外形尺寸：430(W) × 320(D) × 180(H) mm
- 重量：約 9 kg
主要功能
支持多點(diǎn)陣列自動(dòng)掃描測(cè)量，可存儲(chǔ) 10000 組以上測(cè)試數(shù)據(jù)并導(dǎo)出 CSV/Excel；具備溫度補(bǔ)償算法（需外接溫度傳感器）；可切換恒流/恒壓模式；內(nèi)置自診斷與探針接觸檢測(cè)；軟件支持 SPC 統(tǒng)計(jì)分析及曲線繪制。
使用注意事項(xiàng)
- 儀器須可靠接地，避免電磁干擾影響測(cè)量穩(wěn)定性。
- 探針頭為高精密部件，禁止碰撞、刮擦或用力按壓，更換時(shí)需使用原廠配件。
- 測(cè)量前確保被測(cè)樣品表面清潔、平整，無(wú)油污、氧化層或異物，否則會(huì)導(dǎo)致讀數(shù)偏差。
- 不同阻值范圍需匹配合適的電流檔位，避免過(guò)大電流損壞樣品或探頭。
- 高阻測(cè)量時(shí)注意環(huán)境濕度與屏蔽，防止漏電流影響結(jié)果。
- 嚴(yán)禁在易燃易爆氣體環(huán)境中操作，探頭驅(qū)動(dòng)電路含低壓但需注意電氣安全。
- 長(zhǎng)時(shí)間不使用時(shí)，應(yīng)斷開(kāi)電源并存放在干燥防塵環(huán)境，定期通電自檢。
- 校準(zhǔn)周期建議每 6 個(gè)月或使用 1000 小時(shí)進(jìn)行一次，使用標(biāo)準(zhǔn)電阻片進(jìn)行驗(yàn)證。
- 軟件升級(jí)或參數(shù)設(shè)置應(yīng)在廠家指導(dǎo)下進(jìn)行，避免誤操作導(dǎo)致系統(tǒng)異常。
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