ACQD140X10SBT
上海雙旭 ACQD140X10SBT 介紹
產(chǎn)品概述
上海雙旭 ACQD140X10SBT 是一款高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），基于熱式傳感原理設(shè)計(jì)，適用于潔凈氣體、腐蝕性氣體及混合氣體的流量測(cè)量與控制。設(shè)備采用緊湊型結(jié)構(gòu)，支持寬量程比與快速響應(yīng)，廣泛用于半導(dǎo)體制造、光伏、分析儀器、生物制藥等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號(hào)：ACQD140X10SBT
- 流量范圍：0~10 SLM（標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘）
- 精度等級(jí)：±1.0% F.S.（滿(mǎn)量程）
- 重復(fù)性：±0.2% F.S.
- 響應(yīng)時(shí)間：<1 s（達(dá)到設(shè)定值90%）
- 工作壓力：最大 300 kPa（絕對(duì)壓力）
- 工作溫度：5~50 ℃（環(huán)境溫度）；介質(zhì)溫度 -10~70 ℃
- 供電電源：24 VDC ±10%，功耗 ≤5 W
- 輸出信號(hào)：4~20 mA（模擬量）、RS485（Modbus RTU 協(xié)議）
- 控制方式：外部設(shè)定或內(nèi)部設(shè)定（通過(guò)通訊接口）
- 接口規(guī)格：Φ6 mm 卡套接頭（兼容 Swagelok 等）
- 材質(zhì)：本體 316L 不銹鋼；密封件 PTFE/FKM 可選
- 防護(hù)等級(jí)：IP65（殼體）
功能特性
內(nèi)置溫度補(bǔ)償和數(shù)字信號(hào)處理，保證全工況穩(wěn)定測(cè)量；支持多氣體校準(zhǔn)曲線存儲(chǔ)，一鍵切換氣體類(lèi)型；具備過(guò)壓保護(hù)與零點(diǎn)自校正功能；可接入上位機(jī)或 PLC 進(jìn)行集中監(jiān)控和閉環(huán)控制。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)氣體種類(lèi)與設(shè)備校準(zhǔn)氣體一致，避免測(cè)量偏差或損壞傳感器。
- 介質(zhì)中不得含有顆粒、油污或液態(tài)水，必要時(shí)加裝前置過(guò)濾器與干燥器。
- 工作壓力嚴(yán)禁超過(guò)額定最大值，防止膜片變形或泄漏。
- 避免強(qiáng)電磁干擾環(huán)境，RS485 通訊線需屏蔽并單端接地。
- 長(zhǎng)期停用應(yīng)關(guān)閉氣源并排空管路，防止腐蝕或雜質(zhì)沉積。
- 零點(diǎn)校準(zhǔn)需在零氣流狀態(tài)下執(zhí)行，確保測(cè)量準(zhǔn)確性。
- 拆卸維修必須由專(zhuān)業(yè)人員操作，更換密封件時(shí)注意清潔度要求。
- 禁止帶電插拔電氣接口，防止電路損壞。
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