ZJ-54D 熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-54D 熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）介紹
產(chǎn)品概述
ZJ-54D 熱偶規(guī)管為上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的真空測(cè)量器件，基于熱偶真空計(jì)原理，通過(guò)加熱絲與熱電偶配合檢測(cè)氣體熱導(dǎo)率變化實(shí)現(xiàn)真空度測(cè)量。適用于低真空范圍（10⁻¹~10³ Pa）連續(xù)監(jiān)測(cè)，常用于科研實(shí)驗(yàn)、真空鍍膜、半導(dǎo)體制造及各類真空系統(tǒng)壓力指示。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10³ Pa（連續(xù)測(cè)量）
- 工作電壓：AC 220V ±10%，50Hz（供電至配套控制器）
- 加熱絲材料：鎢絲或鉑合金（依型號(hào)配置）
- 熱電偶類型：K型（鎳鉻-鎳硅）
- 環(huán)境溫度：5℃ ~ 40℃
- 環(huán)境濕度：≤85% RH（無(wú)凝露）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤3 s（從大氣壓到10⁻¹ Pa階躍變化）
- 預(yù)熱時(shí)間：≤5 min（達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)）
- 規(guī)管接口：Ф15.5mm CF法蘭 / KF16快接（可選）
- 外形尺寸：約Φ18 mm × L 120 mm（不含接頭）
- 重量：約80 g
- 耐壓：≤1.3×10⁵ Pa（短時(shí)間大氣沖擊）
- 壽命：≥5000 h（正常使用條件）
工作原理
加熱絲通恒定電流加熱至一定溫度，當(dāng)真空度變化時(shí)，周圍氣體分子密度改變，帶走熱量不同，導(dǎo)致熱電偶熱電勢(shì)變化。該電勢(shì)經(jīng)配套真空計(jì)控制器轉(zhuǎn)換為真空度數(shù)值顯示。熱偶規(guī)僅對(duì)中性氣體有效，對(duì)可凝性蒸氣測(cè)量誤差大。
使用注意事項(xiàng)
- 嚴(yán)禁在高于1.3×10⁵ Pa壓力下長(zhǎng)時(shí)間工作，防止加熱絲氧化燒毀；突然暴露大氣應(yīng)快速降壓，避免熱沖擊損壞。
- 不可用于測(cè)量可凝性氣體（如水蒸氣、油蒸氣），否則熱絲表面污染造成靈敏度下降甚至失效。
- 安裝時(shí)保持規(guī)管垂直或按說(shuō)明書(shū)指定方向，避免振動(dòng)與機(jī)械沖擊。
- 規(guī)管應(yīng)在清潔真空環(huán)境下啟用，首次使用或更換介質(zhì)前需對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行烘烤除氣。
- 連接管路需短而粗，減少流阻與死體積，保證響應(yīng)速度及測(cè)量準(zhǔn)確性。
- 規(guī)管與控制器匹配必須一致，電壓/電流規(guī)格不得私自更改，防止過(guò)驅(qū)動(dòng)。
- 測(cè)量高真空段（<10⁻¹ Pa）應(yīng)使用電離規(guī)，ZJ-54D不能準(zhǔn)確反映極低壓強(qiáng)。
- 定期校準(zhǔn)（建議每12個(gè)月一次），尤其用于工藝控制的場(chǎng)合，避免因老化產(chǎn)生漂移。
- 運(yùn)輸與存儲(chǔ)時(shí)防止碰撞與潮濕，存放溫度-20℃~+60℃，相對(duì)濕度≤90%。
適用場(chǎng)景
低真空過(guò)程監(jiān)控：真空干燥、真空包裝、普通真空熱處理、檢漏預(yù)抽、教學(xué)實(shí)驗(yàn)室等。搭配上海雙旭對(duì)應(yīng)型號(hào)真空計(jì)控制器可直接讀取Pa單位示值。 |
