ZDF-5214AX 電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計(jì)（超高真空）
上海雙旭 ZDF-5214AX 電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計(jì)（超高真空）介紹
產(chǎn)品概述：ZDF-5214AX 為上海雙旭電子有限公司推出的電阻規(guī)與冷陰極復(fù)合式真空測(cè)量?jī)x器，專為超高真空環(huán)境設(shè)計(jì)，兼顧寬量程、高精度與快速響應(yīng)。采用雙規(guī)并聯(lián)結(jié)構(gòu)，可在 10⁻² ~ 10⁻⁹ Pa 范圍內(nèi)連續(xù)測(cè)量，適用于科研、半導(dǎo)體制造、薄膜沉積及高能物理實(shí)驗(yàn)等高要求真空系統(tǒng)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：電阻規(guī)段 10⁻² ~ 10⁻¹ Pa；冷規(guī)段 10⁻¹ ~ 10⁻⁹ Pa
- 顯示分辨率：10⁻¹⁰ Pa（冷規(guī)最低量程）
- 精度等級(jí)：±15%（全量程內(nèi)，恒溫條件下）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤1 s（電阻規(guī)段），≤3 s（冷規(guī)段）
- 工作溫度：5℃ ~ 40℃（主機(jī)）；規(guī)管適用 -20℃ ~ 80℃（視型號(hào)）
- 供電電源：AC 220V ±10%，50/60 Hz，功率 ≤30 W
- 輸出接口：RS-485 / RS-232（可選）、0~10V模擬輸出、繼電器報(bào)警觸點(diǎn)
- 規(guī)管類型：內(nèi)置電阻規(guī)（皮拉尼）+ 冷陰極電離規(guī)（磁控型）
- 耐壓能力：大氣壓至極限真空可直接切換，無(wú)損傷
- 防護(hù)等級(jí)：主機(jī) IP20，規(guī)管需防潮防塵
功能特點(diǎn)
雙規(guī)互補(bǔ)：電阻規(guī)在中高真空段線性好、穩(wěn)定性強(qiáng)，冷規(guī)在超高真空段靈敏度高、壽命長(zhǎng)。自動(dòng)量程切換，避免人工干預(yù)誤差。具備零點(diǎn)自校正、數(shù)字濾波抗干擾及超限聲光報(bào)警。支持多通道擴(kuò)展與遠(yuǎn)程監(jiān)控，可集成至真空控制系統(tǒng)。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)真空系統(tǒng)潔凈度，防止油蒸氣或顆粒污染規(guī)管，尤其冷規(guī)對(duì)污染物敏感。
- 規(guī)管必須在真空狀態(tài)下通電，禁止在大氣或高壓氣體下直接啟動(dòng)冷規(guī)，以防電極損壞。
- 電阻規(guī)加熱絲脆弱，啟停過程需緩慢升壓/降壓，避免熱沖擊導(dǎo)致斷絲。
- 冷規(guī)在高磁場(chǎng)或強(qiáng)輻射環(huán)境下精度會(huì)下降，需遠(yuǎn)離此類干擾源。
- 規(guī)管線纜應(yīng)屏蔽良好，避免電磁干擾影響信號(hào)穩(wěn)定性。
- 長(zhǎng)期不用時(shí)保持規(guī)管處于真空封存狀態(tài)，防止氧化或受潮。
- 定期校準(zhǔn)（建議每 12 個(gè)月一次），確保測(cè)量準(zhǔn)確性，尤其在關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)使用前必須核查。
- 更換規(guī)管須使用同型號(hào)或廠家認(rèn)證件，并做好密封處理，防止泄漏。
- 主機(jī)應(yīng)放置在通風(fēng)干燥處，避免高溫、潮濕及腐蝕性氣體侵蝕電路。
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