ZDF-5214AX 電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計(jì)（超高真空）
上海雙旭 ZDF-5214AX 電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計(jì)（超高真空）介紹
產(chǎn)品概述：ZDF-5214AX 為上海雙旭電子有限公司推出的電阻規(guī)與冷陰極復(fù)合式真空測(cè)量?jī)x器，專為超高真空環(huán)境設(shè)計(jì)，兼顧寬量程、高精度與快速響應(yīng)。采用雙規(guī)并聯(lián)結(jié)構(gòu)，可在 10⁻² ~ 10⁻⁹ Pa 范圍內(nèi)連續(xù)測(cè)量，適用于科研、半導(dǎo)體制造、薄膜沉積及高能物理實(shí)驗(yàn)等高要求真空系統(tǒng)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：電阻規(guī)段 10⁻² ~ 10⁻¹ Pa；冷規(guī)段 10⁻¹ ~ 10⁻⁹ Pa
- 顯示分辨率：10⁻¹⁰ Pa（冷規(guī)最低量程）
- 精度等級(jí)：±15%（全量程內(nèi)，恒溫條件下）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤1 s（電阻規(guī)段），≤3 s（冷規(guī)段）
- 工作溫度：5℃ ~ 40℃（主機(jī)）；規(guī)管適用 -20℃ ~ 80℃（視型號(hào)）
- 供電電源：AC 220V ±10%，50/60 Hz，功率 ≤30 W
- 輸出接口：RS-485 / RS-232（可選）、0~10V模擬輸出、繼電器報(bào)警觸點(diǎn)
- 規(guī)管類型：內(nèi)置電阻規(guī)（皮拉尼）+ 冷陰極電離規(guī)（磁控型）
- 耐壓能力：大氣壓至極限真空可直接切換，無損傷
- 防護(hù)等級(jí)：主機(jī) IP20，規(guī)管需防潮防塵
功能特點(diǎn)
雙規(guī)互補(bǔ)：電阻規(guī)在中高真空段線性好、穩(wěn)定性強(qiáng)，冷規(guī)在超高真空段靈敏度高、壽命長(zhǎng)。自動(dòng)量程切換，避免人工干預(yù)誤差。具備零點(diǎn)自校正、數(shù)字濾波抗干擾及超限聲光報(bào)警。支持多通道擴(kuò)展與遠(yuǎn)程監(jiān)控，可集成至真空控制系統(tǒng)。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)真空系統(tǒng)潔凈度，防止油蒸氣或顆粒污染規(guī)管，尤其冷規(guī)對(duì)污染物敏感。
- 規(guī)管必須在真空狀態(tài)下通電，禁止在大氣或高壓氣體下直接啟動(dòng)冷規(guī)，以防電極損壞。
- 電阻規(guī)加熱絲脆弱，啟停過程需緩慢升壓/降壓，避免熱沖擊導(dǎo)致斷絲。
- 冷規(guī)在高磁場(chǎng)或強(qiáng)輻射環(huán)境下精度會(huì)下降，需遠(yuǎn)離此類干擾源。
- 規(guī)管線纜應(yīng)屏蔽良好，避免電磁干擾影響信號(hào)穩(wěn)定性。
- 長(zhǎng)期不用時(shí)保持規(guī)管處于真空封存狀態(tài)，防止氧化或受潮。
- 定期校準(zhǔn)（建議每 12 個(gè)月一次），確保測(cè)量準(zhǔn)確性，尤其在關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)使用前必須核查。
- 更換規(guī)管須使用同型號(hào)或廠家認(rèn)證件，并做好密封處理，防止泄漏。
- 主機(jī)應(yīng)放置在通風(fēng)干燥處，避免高溫、潮濕及腐蝕性氣體侵蝕電路。
ZDF-5214AX 電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計(jì)（超高真空）
產(chǎn)品使用說明
1. 安裝前確認(rèn)供電電壓為AC 220V±10%，50/60Hz，確保接地可靠。將電阻規(guī)（ZJ-52T）和冷陰極電離規(guī)（ZJ-27）分別對(duì)應(yīng)連接到儀器背面標(biāo)識(shí)的“電阻規(guī)”和“冷規(guī)”接口，擰緊真空接頭。
2. 開機(jī)后儀器自動(dòng)進(jìn)入“預(yù)熱”模式，等待約5分鐘燈絲穩(wěn)定。之后按“測(cè)量”鍵進(jìn)入測(cè)量狀態(tài)，顯示屏默認(rèn)顯示電阻規(guī)通道（低真空段10^5-10^-1 Pa），按“通道”鍵可切換至冷規(guī)通道（高真空段10^-1-10^-8 Pa）。
3. 冷規(guī)啟動(dòng)需滿足真空度≤10 Pa（建議為1 Pa以下），否則自動(dòng)保護(hù)禁止開啟。用戶可手動(dòng)按“冷規(guī)啟動(dòng)”按鈕強(qiáng)制開啟（僅限經(jīng)驗(yàn)操作者）。測(cè)量過程中若真空度高于設(shè)定值或出現(xiàn)漏氣，冷規(guī)會(huì)自動(dòng)切斷高壓。
4. 儀器支持四點(diǎn)設(shè)定繼電器輸出（兩個(gè)測(cè)量通道各兩個(gè)點(diǎn)），按“設(shè)定”鍵進(jìn)入?yún)?shù)菜單，通過上下鍵調(diào)整設(shè)定值，按“確定”保存。復(fù)位鍵用于恢復(fù)出廠設(shè)置。
5. 關(guān)機(jī)前先按“冷規(guī)關(guān)閉”停止冷陰極規(guī)工作，再切斷總電源。長(zhǎng)期停用需將規(guī)管接口用保護(hù)罩密封防塵。
核心優(yōu)點(diǎn)
1. 寬量程復(fù)合覆蓋：電阻規(guī)（10^5-10^-1 Pa）與冷陰極規(guī)（10^-1-10^-8 Pa）自動(dòng)切換，無需人工干預(yù)，實(shí)現(xiàn)從大氣壓到超高真空的連續(xù)測(cè)量。
2. 冷規(guī)超長(zhǎng)壽命：采用碳化鉬陰極材料，抗毒性強(qiáng)，抗大氣沖擊能力優(yōu)于普通冷規(guī)，典型工作壽命>50000小時(shí)。
3. 快速響應(yīng)與高精度：電阻規(guī)響應(yīng)時(shí)間<100ms，冷規(guī)響應(yīng)時(shí)間<200ms；測(cè)量精度≤±5%讀數(shù)（電阻規(guī)）/≤±10%讀數(shù)（冷規(guī)）。
4. 多重安全防護(hù)：冷規(guī)具備過壓保護(hù)、電流過載保護(hù)、自動(dòng)延時(shí)啟動(dòng)邏輯；儀器配套真空泄露檢測(cè)功能（漏率大于10^-6 Pa·L/s時(shí)聲光報(bào)警）。
5. 工業(yè)級(jí)通訊與輸出：標(biāo)配RS485/Modbus接口，支持4-20mA模擬輸出，繼電器觸點(diǎn)容量AC 250V/3A，適合集成到PLC或DCS系統(tǒng)。 |
