ZJ-54D 熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）
上海雙旭ZJ-54D熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）
ZJ-54D熱偶規(guī)管是上海雙旭電子有限公司推出的一款用于真空度測(cè)量的核心傳感元件，基于熱傳導(dǎo)原理工作，可精準(zhǔn)檢測(cè)低真空區(qū)域的壓強(qiáng)，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、真空干燥、半導(dǎo)體制造等工業(yè)領(lǐng)域，為真空系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行提供可靠數(shù)據(jù)支持。
核心產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)類(lèi)別 |
具體參數(shù) |
| 測(cè)量范圍 |
10⁻¹ Pa ～ 1.0×10⁵ Pa |
| 規(guī)管類(lèi)型 |
熱偶式真空規(guī)管 |
| 加熱絲材質(zhì) |
耐高溫合金材質(zhì)，具備良好的抗腐蝕與抗氧化性能 |
| 工作電源 |
適配配套真空計(jì)工作電源（通常為直流穩(wěn)壓供電） |
| 連接方式 |
采用KF25快裝法蘭，便于快速安裝與拆卸 |
| 外形尺寸 |
規(guī)管主體直徑約25mm，長(zhǎng)度約150mm（不含法蘭部分） |
| 工作環(huán)境溫度 |
-10℃ ～ +50℃ |
| 存儲(chǔ)環(huán)境溫度 |
-20℃ ～ +60℃ |
| 規(guī)管壽命 |
正常使用條件下，使用壽命≥10000小時(shí) |
使用注意事項(xiàng)
安裝與調(diào)試
- 規(guī)管安裝位置需避開(kāi)真空系統(tǒng)中的氣流死角與高溫區(qū)域，避免測(cè)量數(shù)據(jù)失真；安裝時(shí)需確保KF法蘭密封墊完好，擰緊卡箍保證真空密封性。
- 首次使用前，需將規(guī)管與配套真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)匹配，嚴(yán)格按照說(shuō)明書(shū)設(shè)置加熱絲工作電流，禁止超電流使用，防止加熱絲燒毀。
日常使用與維護(hù)
- 規(guī)管禁止暴露在大氣中長(zhǎng)時(shí)間通電工作，大氣環(huán)境下加熱絲會(huì)因氧化迅速損壞，需在真空度降至10Pa以下后再啟動(dòng)加熱電路。
- 若真空系統(tǒng)中存在腐蝕性氣體或粉塵，需在規(guī)管前端加裝過(guò)濾裝置，避免污染物附著在加熱絲與熱偶絲表面，影響測(cè)量精度。
- 定期檢查規(guī)管的絕緣性能，使用兆歐表檢測(cè)加熱絲、熱偶絲與外殼之間的絕緣電阻，確保電阻值≥100MΩ，防止漏電干擾測(cè)量。
故障與防護(hù)
- 若出現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)偏差過(guò)大或無(wú)顯示，需先檢查真空計(jì)與規(guī)管的連接線路，排除接觸不良問(wèn)題后，再檢測(cè)加熱絲是否斷裂，必要時(shí)更換規(guī)管。
- 規(guī)管屬于精密元件，搬運(yùn)與儲(chǔ)存過(guò)程中需避免劇烈碰撞與摔落，防止內(nèi)部絲材變形或斷裂，影響測(cè)量性能。
- 長(zhǎng)期不使用時(shí)，需將規(guī)管密封保存，并放置在干燥、無(wú)腐蝕性氣體的環(huán)境中，防止內(nèi)部部件受潮氧化。
正確遵循上述使用要求，可有效延長(zhǎng)ZJ-54D熱偶規(guī)管的使用壽命，確保真空度測(cè)量的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性，為工業(yè)生產(chǎn)提供可靠的真空監(jiān)測(cè)保障。 |
