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| 產(chǎn)品詳細(xì) |
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| 產(chǎn)品名稱： |
6JA 干涉顯微鏡 |
| 產(chǎn)品型號： |
shuangxu |
| 產(chǎn)品報(bào)價(jià)： |
聯(lián)系在線客服 |
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產(chǎn)品詳細(xì)：
6JA 干涉顯微鏡
上海雙旭6JA 干涉顯微鏡
產(chǎn)品概述：上海雙旭6JA為高精度干涉顯微鏡，基于多光束或雙光束干涉原理，用于表面微觀形貌、平面度及微小臺階高度的非接觸測量，廣泛用于精密機(jī)械加工、光學(xué)元件檢測、半導(dǎo)體晶圓、模具及科研領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號：6JA
- 制造商：上海雙旭電子有限公司
- 光學(xué)系統(tǒng)：無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，配備高穩(wěn)定性干涉物鏡
- 光源：單色LED（λ=632.8nm氦氖激光等效波長可選），光強(qiáng)可調(diào)
- 干涉模式：雙光束斐索干涉、多光束法布里-珀羅干涉可切換
- 放大倍率：目視10×、20×、40×、100×（目鏡10×/測微目鏡25×）
- 視場直徑：Φ20mm（10×）、Φ10mm（20×）、Φ5mm（40×）、Φ2mm（100×）
- 工作距離：≥0.5mm（依物鏡不同）
- 垂直分辨率：≤0.1nm（理論值，受環(huán)境振動與空氣擾動影響）
- 橫向分辨率：≤0.5μm（依物鏡NA與照明波長）
- 測量范圍：臺階高度±10μm（標(biāo)準(zhǔn)配置），擴(kuò)展可達(dá)±50μm
- 平臺行程：X/Y軸手動粗調(diào)+微調(diào)，行程≥50mm×50mm；Z軸微調(diào)范圍≥5mm
- 讀數(shù)方式：數(shù)字千分尺或光柵尺配合軟件顯示，最小讀數(shù)0.01μm
- 圖像采集：內(nèi)置CCD攝像頭（可選配200萬~500萬像素），USB傳輸
- 軟件功能：干涉條紋分析、三維形貌重建、輪廓曲線擬合、數(shù)據(jù)導(dǎo)出（Excel/TXT）
- 尺寸：約400mm×350mm×600mm（主機(jī)）
- 重量：約35kg
- 電源：AC220V±10%，50Hz，功率≤150W
使用注意事項(xiàng)
- 放置環(huán)境需溫度穩(wěn)定（推薦20±1℃）、濕度≤60%RH，避免陽光直射與空調(diào)直吹，防止熱膨脹導(dǎo)致干涉條紋漂移。
- 必須安裝在隔振平臺上，遠(yuǎn)離機(jī)床、空壓機(jī)、交通振動源，地面振動加速度建議≤5μm/s²。
- 光學(xué)元件表面嚴(yán)禁用手觸摸，清潔須用專用鏡頭紙或無水乙醇輕拭，避免劃傷鍍膜層。
- 使用前檢查光源穩(wěn)定性與干涉條紋清晰度，若條紋扭曲或不規(guī)則，應(yīng)排查樣品表面污染、傾斜或光學(xué)系統(tǒng)失調(diào)。
- 樣品表面要求平整潔凈，避免油污、灰塵及氧化層，否則會引入局部相位誤差影響測量精度。
- 調(diào)節(jié)參考鏡與樣品間距至干涉條紋出現(xiàn)且對比度最佳，過程中避免快速移動造成空氣擾動。
- 更換物鏡或倍率時(shí)，應(yīng)重新進(jìn)行光路校準(zhǔn)與零點(diǎn)復(fù)位，確保測量基準(zhǔn)一致。
- 軟件采集圖像時(shí)關(guān)閉室內(nèi)強(qiáng)光源與頻繁開關(guān)燈具，防止CCD感光異常。
- 長期停用需覆蓋防塵罩，定期通電預(yù)熱并檢查光學(xué)部件位置，防止機(jī)械位移。
- 禁止對超出量程的臺階或深槽強(qiáng)行測量，以免損壞物鏡或壓壞樣品。
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