ZDM-I-5 電容薄膜真空計
上海雙旭ZDM-I-5 電容薄膜真空計
產(chǎn)品概述
上海雙旭ZDM-I-5為電容薄膜式真空計，基于金屬薄膜電容器在壓力作用下形變引起電容值變化的原理實現(xiàn)真空度測量。適用于低至中真空范圍精確檢測，常用于科研、半導體制造、真空鍍膜及工業(yè)真空系統(tǒng)監(jiān)控。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-1 Pa（可擴展至1×10-2 Pa）
- 精度等級：±(0.5%讀數(shù)+0.2%滿量程)（在恒溫條件下）
- 分辨率：1×10-3 Pa（在10-1~102 Pa區(qū)間）
- 響應時間：≤200 ms（典型值，隨壓力變化）
- 工作溫度：0℃ ~ +50℃；存儲溫度：-20℃ ~ +70℃
- 供電電壓：DC 24V ±10%，功耗≤2W
- 輸出信號：4~20 mA（兩線制）/ RS485（可選）
- 壓力接口：KF16、KF25或CF法蘭（可選）
- 防護等級：IP65（傳感器部分），儀表殼體IP54
- 零點漂移：≤±0.05% FS/月
- 重復性：≤±0.2% FS
結(jié)構(gòu)與工作原理
ZDM-I-5核心為彈性金屬薄膜，兩側(cè)分別形成固定電極與可動電極構(gòu)成電容器。當真空度變化，薄膜受氣體壓力作用產(chǎn)生微小位移，改變極板間距，從而電容值變化。電路將電容變化轉(zhuǎn)換為標準電流或數(shù)字信號輸出。傳感器采用溫度補償結(jié)構(gòu)，降低環(huán)境溫度對測量的影響。
性能特點
- 全量程線性度好，適合連續(xù)監(jiān)測與過程控制
- 抗過載能力強，短時間可承受大氣壓沖擊
- 支持多種安裝接口，適配不同真空系統(tǒng)
- 模擬與數(shù)字雙輸出，便于集成自動化系統(tǒng)
- 長期穩(wěn)定性高，適合無人值守場合
使用注意事項
- 安裝前檢查傳感器外觀無損傷，連接法蘭密封面清潔無顆粒
- 避免在高粉塵、強腐蝕性氣體環(huán)境直接使用，必要時加過濾或隔離裝置
- 通電前確認供電電壓符合DC 24V±10%，防止過壓損壞電子單元
- 傳感器不可暴露于超過大氣壓力的環(huán)境超過規(guī)定時間，防止薄膜永久變形
- 首次使用或更換介質(zhì)后需進行零點校準，尤其在測量氣體種類變化時
- 定期清潔壓力接口及膜片周圍，防止污染物附著影響靈敏度
- 輸出信號電纜應屏蔽并遠離動力線布置，減少電磁干擾
- 長期停用應斷電并存放在干燥潔凈環(huán)境，避免受潮導致絕緣性能下降
- 嚴禁敲擊或劇烈振動傳感器，以免破壞薄膜機械結(jié)構(gòu)
- 若測量介質(zhì)含油蒸氣或顆粒物，應在前端加裝冷阱或過濾器保護傳感器
ZDM-I-5 電容薄膜真空計
上海雙旭ZDM-I-5 電容薄膜真空計 使用說明
安裝時確保真空計垂直放置，且被測氣體干燥、無腐蝕性。連接標準KF或ISO法蘭接口，使用扭力扳手均勻緊固。首次通電前檢查供電電壓是否匹配DC 24V±10%。上電后需預熱15分鐘以穩(wěn)定零點。量程范圍0.01至1000 mbar（可選單位Torr或Pa），通過面板按鍵切換。校準操作：在<10^-4 mbar真空環(huán)境下長按“ZERO”鍵3秒自動歸零；滿量程校準需連接標準壓力源，按住“SPAN”鍵調(diào)整至標稱值。輸出信號為0-10V模擬電壓或RS485數(shù)字接口，可連接PLC或上位機。禁止在真空計帶壓時拆卸，避免膜片損壞；長期停用應保持真空狀態(tài)或干燥氮氣保護。
產(chǎn)品優(yōu)點
采用陶瓷電容敏感膜片，溫度穩(wěn)定性優(yōu)于金屬膜片30%，溫漂系數(shù)低至0.02%/℃。全不銹鋼結(jié)構(gòu)耐受腐蝕性氣體，無油、無介質(zhì)污染，適合潔凈工藝環(huán)境。響應時間小于5ms，支持高動態(tài)真空過程測量�？惯^載能力達10倍量程，意外壓力沖擊不損壞傳感器。內(nèi)置數(shù)字濾波算法，有效抑制泵體振動和電磁干擾。用戶可現(xiàn)場通過按鍵或上位機軟件調(diào)整濾波等級、響應速度等參數(shù)。平均無故障時間（MTBF）超過80,000小時，提供兩年質(zhì)保。模塊化拆卸設計，用戶可獨立更換電子單元，降低維護成本。 |
