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上海雙旭ISSP-SHF系列單晶爐

供應(yīng)商：上海雙旭電子有限公司

產(chǎn)品參數(shù)

• 型號(hào)系列：ISSP-SHF
• 爐體結(jié)構(gòu)：通常采用不銹鋼或雙層水冷結(jié)構(gòu)，確保高溫下的穩(wěn)定與安全。
• 最高溫度：可達(dá)1700℃以上（具體視配置而定），滿足半導(dǎo)體級(jí)單晶生長(zhǎng)需求。
• 溫場(chǎng)控制：采用多區(qū)加熱與精密溫控系統(tǒng)，溫場(chǎng)均勻性高。
• 晶體尺寸：支持多種晶體直徑規(guī)格，如2英寸、4英寸、6英寸或定制尺寸。
• 提拉速度：無級(jí)可調(diào)，范圍通常為0.1-10 mm/h，精度高。
• 旋轉(zhuǎn)速度：晶體與坩堝轉(zhuǎn)速獨(dú)立可調(diào)，以優(yōu)化生長(zhǎng)界面。
• 真空系統(tǒng)：極限真空度可達(dá)10^-4 Pa量級(jí)，并配備高純惰性氣體保護(hù)功能。
• 控制系統(tǒng)：基于PLC或工業(yè)計(jì)算機(jī)，具備自動(dòng)生長(zhǎng)程序、實(shí)時(shí)監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄功能。
• 安全防護(hù)：集成壓力、水溫、漏電、過流等多重保護(hù)裝置。

使用注意事項(xiàng)

• 安裝環(huán)境：需放置在穩(wěn)固、無振動(dòng)、通風(fēng)良好的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室或車間，遠(yuǎn)離腐蝕性氣體。
• 電源要求：必須嚴(yán)格符合設(shè)備額定電壓與功率要求，建議配備穩(wěn)壓電源及專用接地線。
• 冷卻系統(tǒng)：確保冷卻水水質(zhì)清潔、流量與壓力達(dá)標(biāo)，定期檢查管路防止堵塞或泄漏。
• 真空操作：在抽真空或充氣過程中，遵循操作規(guī)程，避免壓力驟變損壞爐體或觀察窗。
• 高溫運(yùn)行：爐體高溫時(shí)嚴(yán)禁觸摸，加熱及冷卻過程應(yīng)嚴(yán)格按照程序執(zhí)行，防止熱沖擊。
• 物料準(zhǔn)備：使用的多晶料、摻雜劑、坩堝等必須滿足高純度要求，并徹底清潔干燥。
• 維護(hù)保養(yǎng)：定期檢查加熱元件、密封件、傳感器等易損件，及時(shí)更換。保持設(shè)備內(nèi)外清潔。
• 操作人員：需經(jīng)專業(yè)培訓(xùn)，熟悉設(shè)備結(jié)構(gòu)、工藝流程及應(yīng)急處理措施。
• 安全防護(hù)：操作時(shí)應(yīng)佩戴防護(hù)眼鏡、手套等勞保用品，爐體附近配備防火設(shè)施。